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產(chǎn)品中心流量計(jì)氣體質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器WGL-3180（模擬）
氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器WGL-3180（模擬）
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
product
產(chǎn)品分類| 品牌 | 歐銳鉑 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,能源,電子/電池,電氣 |
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氣體質(zhì)量流量控制器WGL-3180（模擬）是熱式質(zhì)量流量計(jì)。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡(jiǎn)稱MFC）可對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制；應(yīng)用領(lǐng)域：小流量，適用于真空、分析儀器、等行業(yè)。
產(chǎn)品特點(diǎn)（優(yōu)勢(shì)）：
本產(chǎn)品具有穩(wěn)定可靠、響應(yīng)時(shí)間短、標(biāo)定精度和重復(fù)精度高等優(yōu)點(diǎn)，安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡(jiǎn)單，可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換器（AD/DA轉(zhuǎn)換器）配合計(jì)算機(jī)使用。
產(chǎn)品參數(shù)：
產(chǎn)品名稱： | 氣體質(zhì)量流量控制器WGL-3180（模擬） | |
基本型號(hào) | WGL-3180 | WGL-3180M |
流量規(guī)格①(N2標(biāo)定) | 0~10,50,100,500 SCCM 0~1,5,10SLM | |
調(diào)節(jié)閥類型 | 常閉式 | 無 |
量程比 | (2~100)%F.S.或50:1 | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S. | |
重復(fù)精度 | ±0.2%F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec | ≤1sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.3MPa(≤10SLM) | ＜1MPa |
最大耐壓 | 1MPa | |
工作環(huán)境溫度 | 5~45℃ | |
電纜接頭 | DB15pin(針形) | |
輸入輸出信號(hào) | 0～+5.00V（輸入阻抗大于100kΩ，輸 出電流不大于3mA) | 0～+5.00V（無輸入信號(hào)，輸出電流不 大于3mA) |
供電電源要求 | +15VDC(50mA)，-15VDC(200mA) | +15VDC(50mA),-15VDC(50mA) |
對(duì)外單點(diǎn)泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m3/S(He) | |
介質(zhì)接觸材質(zhì) | 316，316L，密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡膠CR,氟橡膠 FKM | |
管道接頭尺寸 | VCR型接頭：1/4" | |
雙卡套型接頭：1/4"、1/8" 或 φ6、φ3 mm | ||
凈重量 | 0.88kg | 0.72kg |
注1；滿量程流量不限于表中列出的流量規(guī)格,可以在5SCCM~10SLM范圍內(nèi)任選,例如123SCCM。 | ||
產(chǎn)品尺寸：
接線定義：
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